Компоненте високотемпературног вакуума
Термичка обрада углавном укључује процесе оксидације, дифузије и жарења.Оксидација је адитивни процес у коме се силицијумске плочице стављају у пећ на високој температури и додаје се кисеоник да реагује са њима да би се формирао силицијум на површини вафла.Дифузија је премештање супстанци из области високе концентрације у област ниске концентрације кроз молекуларно топлотно кретање, а процес дифузије се може користити за допирање специфичних допинг супстанци у силицијумској подлози, чиме се мења проводљивост полупроводника.
